obirch 失效分析

OBIRCH失效分析全流程解析

作为芯片级故障定位的黄金标准，OBIRCH（光学束诱导电阻变化）技术能精准定位纳米级失效点。本文将带您了解其原理、常见问题及解决方案。

一、技术原理与优势

工作原理：通过激光束扫描芯片表面，监测局部电阻变化（△R/R），定位高阻抗或漏电区域。核心优势：非破坏性检测，分辨率可达亚微米级（1μm以内），尤其适合封装后芯片分析。

二、典型失效模式及应对

假阳性信号干扰

表现：测试结果出现异常热点但实际无故障。成因：激光功率过高或样品表面污染（如助焊剂残留）。对策：调整激光参数（建议功率<50mW）+ 超声波清洗（去除污染物）。

深层次失效漏检

表现：芯片内部缺陷（如栅氧击穿）无法被表面扫描发现。解决方案：结合FIB（聚焦离子束）进行截面分析，或改用EMMI（电子发光显微镜）互补检测。

数据解读误区

常见错误：将热效应引起的电阻变化误判为电学失效。专业建议：同步采集红外热成像数据，建立多维分析模型。

三、检测流程优化建议

标准化操作：

环境控制：实验室温度25±2℃，湿度<40%RH（避免静电干扰）。校准步骤：每日用标准电阻片验证设备灵敏度。

案例参考：某5G芯片功耗异常，通过OBIRCH定位到电源环（Power Ring）铜层裂缝，经FIB修复后良率提升至99.5%。

🚨 注意：复杂失效需搭配SAM（超声扫描）、X射线等综合分析！

#失效分析#